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burkert寶德熱式氣體質量流量控制器20001534相關介紹

發(fā)布時間: 2025-03-31  點擊次數: 196次

burkert寶德熱式氣體質量流量控制器20001534相關介紹

8742型熱式氣體質量流量控制器*100nl/min,N?,鋁基座,G1/4寸,標定壓力2bar,4-20mA

控制器| N2 | 10000nl /min | 24v DC |內螺紋- G1/4" | 4- 20ma

熱式氣體質量流量控制器(Thermal Mass Flow Controller, TMFC)是一種基于熱傳導原理實現氣體質量流量精準控制的設備,廣泛應用于半導體制造、化工、實驗室等領域。其核心優(yōu)勢在于不依賴溫度和壓力變化,直接測量質量流量。

工作原理

熱平衡原理

核心組件:

加熱絲:由鉑鎢合金制成,通電后產生恒定熱量。

溫度傳感器(如鉑電阻):檢測加熱絲周圍溫度變化。

流體通道:氣體流動帶走加熱絲的熱量,導致溫度下降。

氣體流量越大,帶走的熱量越多,需增加功率維持溫度恒定。通過測量功率變化即可推算流量。

閉環(huán)控制

PID算法:實時比較設定流量與實際流量,調整閥門開度(如電磁閥或壓電閥)。

響應時間:<50ms(優(yōu)于壓差式流量計)。

結構特點

傳感器設計

毛細管繞絲:加熱絲和溫度傳感器纏繞在毛細管上,增大熱接觸面積。

雙元件補償:采用兩個對稱的傳感器,消除環(huán)境溫度干擾。

寶德8742流量控制器內容圖.png

流量控制閥

電磁閥:適用于大流量范圍(如0-100 SLM)。

壓電閥:無機械運動部件,響應快(<10ms),適用于小流量(如0-10 SCCM)。

電子控制單元

微處理器:執(zhí)行PID計算、線性化修正和通信協議(如RS-485、Modbus)。

數字界面:支持本地顯示和遠程監(jiān)控(如流量設定、報警輸出)。

技術優(yōu)勢

高精度與穩(wěn)定性

精度:±1% FS(滿量程),重復性<0.2% FS。

溫壓補償:內置壓力傳感器和溫度傳感器,自動修正環(huán)境參數影響。

寬量程與多氣體兼容

量程范圍:覆蓋μSLM(微升/分鐘)至數百SLM(標準升/分鐘)。

氣體兼容性:支持N?、Ar、O?等常見氣體,通過軟件校準切換氣體類型。

低維護性

無活動部件(壓電閥除外),壽命>5年。

自診斷功能:監(jiān)測傳感器污染、閥門堵塞等故障。

典型應用場景

半導體制造

工藝氣體控制:如CVD(化學氣相沉積)中的硅烷(SiH?)流量控制。

真空系統:監(jiān)測氬氣(Ar)在刻蝕工藝中的使用量。

化工與實驗室

反應釜進氣控制:精確配比反應氣體(如H?/O?)。

氣相色譜儀(GC):作為載氣(如He、N?)的流量控制單元。

生物醫(yī)藥

發(fā)酵罐通氣控制:調節(jié)氧氣(O?)和二氧化碳(CO?)流量,優(yōu)化細胞培養(yǎng)環(huán)境。

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